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Efficient thermal dissipation in wafer-scale heterogeneous integration of single-crystalline β-Ga2O3 thin film on SiC SiC上单晶β-Ga2O3薄膜晶圆级异质集成的高效散热
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期刊:Fundamental research 作者:Wenhui Xu; Tiangui You; Yibo Wang; Shen Zhenghao; Kang Liu; et al 出版日期:2021-11-14 |
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