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 A wafer map yield model based on deep learning for wafer productivity enhancement 基于深度学习的晶圆图良率模型
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期刊： 作者：Sung-Ju Jang; Jee-Hyong Lee; Tae‐Woo Kim; Jong-Seong Kim; Hyun-Jin Lee; et al 出版日期：2018-04-01 |
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