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[高分]
 Multiscale modelling and control of inductively coupled plasma etching based on recurrent neural networks 基于递归神经网络的电感耦合等离子体刻蚀多尺度建模与控制
相关领域
计算机科学
感应耦合等离子体
人工神经网络
等离子体
等离子体刻蚀
蚀刻（微加工）
人工智能
材料科学
纳米技术
图层（电子）
物理
量子力学
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| 其它 |
期刊：International Journal of Wireless and Mobile Computing 作者：Lihong Zhu; Qingchuan Chen; Junwei Nie; Kewei Liu 出版日期：2024-12-05 |
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