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![]() 一种细长压电微动驱动器的研究及其在高速高精度定位中的应用
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执行机构
压电
机械工程
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Fei Lu; Weishan Chen; Jie Deng; Shijing Zhang; Yingxiang Liu 出版日期:2025-02-01 |
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