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  Compensation of the Stress Gradient in Physical Vapor Deposited Al1−xScxN Films for Microelectromechanical Systems with Low Out-of-Plane Bending 低面外弯曲微机电系统物理气相沉积Al 1-xScxN薄膜应力梯度的补偿
相关领域
微电子机械系统
弯曲
材料科学
悬臂梁
压力（语言学）
薄膜
复合材料
沉积（地质）
平面（几何）
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期刊：Micromachines 作者：Rossiny Beaucejour; Michael D’Agati; Kritank Kalyan; Roy H. Olsson 出版日期：2022-07-24 |
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