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标题
专利、报告等 Quartz 9-inch size Mask Blanks for ArF PSM (Phase Shift Mask)
用于ArF PSM的石英9英寸掩模坯料(相移掩模)
相关领域
光掩模 小型化 平版印刷术 光刻 材料科学 薄脆饼 涂层 蚀刻(微加工) 微电子机械系统 抵抗 纳米技术 光电子学 光学 计算机科学 物理 图层(电子)
网址
DOI
10.1117/12.2282803 doi
求助人
余采梦 在 2024-10-25 08:16:16 发布自湖南,悬赏 20 积分
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