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 Characterization of the Photoacid Diffusion Length and Reaction Kinetics in EUV Photoresists with IR Spectroscopy 红外光谱表征极紫外光致抗蚀剂中光酸扩散长度和反应动力学
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期刊：Macromolecules 作者：Shuhui Kang; Wen‐Li Wu; Kwang-Woo Choi; Anuja De Silva; Christopher K. Ober; et al 出版日期：2010-04-14 |
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