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A novel capacitively coupled plasma driven by hollow cathode radio-frequency discharges
空心阴极射频放电驱动的新型电容耦合等离子体
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期刊:Physica Scripta 作者:Xijian Xiao; Jidun Wu; Qilu Cao; Xiaojiang Huang 出版日期:2023-02-08 |
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