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Low-Temperature Direct Synthesis of Multilayered h-BN without Catalysts by Inductively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
电感耦合等离子体增强化学气相沉积无催化剂低温直接合成多层h-BN
相关领域
材料科学
化学气相沉积
硼嗪
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期刊:ACS Omega 作者:Masaya Yamamoto; Hiromasa Murata; Noriyuki Miyata; Hiroshi Takashima; Masayoshi Nagao; et al 出版日期:2023-01-31 |
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