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Oxidation of Sputtered Niobium Nitride Films
溅射氮化铌薄膜的氧化
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期刊:Journal of The Electrochemical Society 作者:P. K. Gallagher; W. Robert Sinclair; D. D. Bacon; G. W. Kammlott 出版日期:1983-10-01 |
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