The Impact of Silicon Surface Pretreatment on Interface Structure and Passivation Quality of Alox Films Deposited by Atomic Layer Deposition

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标题	The Impact of Silicon Surface Pretreatment on Interface Structure and Passivation Quality of Alox Films Deposited by Atomic Layer Deposition 硅表面预处理对原子层沉积Alox薄膜界面结构和钝化质量的影响相关领域钝化图层（电子）沉积（地质）材料科学原子层沉积硅接口（物质）冶金质量（理念）化学工程光电子学纳米技术复合材料工程类接触角地质学古生物学哲学认识论坐滴法沉积物
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.5087597
DOI	10.2139/ssrn.5087597 doi
其它	期刊：作者：Jiahui Xu; Wenjing Zhang; Yu-Xuan Li; Liu Cui; Geng Zhang; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	自信秋烟在 2025-01-13 21:01:16 发布自中国，悬赏 10 积分
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