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 Fabrication of large-sized TaC-coated carbon crucibles for the low-cost sublimation growth of large-diameter bulk SiC crystals 用于大直径块状SiC晶体低成本升华生长的大尺寸TaC涂层碳坩埚的制备
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期刊：Japanese journal of applied physics 作者：Daisuke Nakamura; Keisuke Shigetoh 出版日期：2017-07-21 |
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