Fast and accurate defect classification for CMP process monitoring

已完结

文献求助详情

标题	Fast and accurate defect classification for CMP process monitoring 用于CMP过程监控的快速准确的缺陷分类相关领域化学机械平面化材料科学薄脆饼刮擦过程控制过程（计算）计算机科学光电子学电子工程抛光复合材料工程类操作系统
网址	https://doi.org/10.1109/asmc.2019.8791750
DOI	10.1109/asmc.2019.8791750 doi
其它	期刊：作者：Yong-Yi Lin; Fu-Shou Tsai; Li-Chieh Hsu; Hsin-Kuo Hsu; Chih-Yueh Li; et al 出版日期：2019-05-01
求助人	柏百招在 2024-09-01 20:51:17 发布自安徽，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: lalala发布了新的文献求助10

1秒前; tdd上传了应助文件

2秒前; 万能图书馆上传了应助文件

4秒前; 神勇的薯片完成签到，获得积分10

7秒前; 烟花上传了应助文件

8秒前; 哆啦A梦的小小王发布了新的文献求助10

9秒前; 充电宝的应助被欢呼的寻双采纳，获得10

9秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

9秒前; 上官若男上传了应助文件

9秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

11秒前; LinglongCai完成签到，获得积分10

12秒前; 王启蛰完成签到，获得积分10

12秒前; 123发布了新的文献求助10

13秒前; Ru发布了新的文献求助30

13秒前; 琪琪乖不吃辣发布了新的文献求助30

13秒前; Eric_Z发布了新的文献求助10

13秒前; 科研通AI2S的应助被Ren采纳，获得10

14秒前; ss完成签到，获得积分10

14秒前; nenoaowu上传了应助文件

16秒前; 阿涵完成签到，获得积分20

16秒前; 英姑上传了应助文件

18秒前; 叁少关注了科研通微信公众号

18秒前; xxx完成签到，获得积分10

18秒前; 鱼鱼完成签到，获得积分10

19秒前; 李健的小迷弟的应助被Zzzhu采纳，获得20

20秒前; 顾矜的应助被柏林熊采纳，获得10

21秒前; FAPI关闭了FAPI的文献求助

21秒前; 田様的应助被天行健采纳，获得10

22秒前; jinshijie发布了新的文献求助10

23秒前; nina发布了新的文献求助10

23秒前; Ru完成签到，获得积分10

24秒前; 大个上传了应助文件

24秒前; lz完成签到，获得积分10

25秒前; SciGPT的应助被稳重向南采纳，获得10

27秒前; 能干的怜寒关注了科研通微信公众号

27秒前; 传奇3的应助被浮浮采纳，获得10

29秒前; Owen上传了应助文件

30秒前; 傻傻的水杯发布了新的文献求助10

31秒前; 数树完成签到，获得积分10

33秒前; starofjlu上传了应助文件

33秒前