Thermodynamic analysis of moisture absorption phenomena in high-permittivity oxides as gate dielectrics of advanced complementary-metal-oxide-semiconductor devices

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标题	Thermodynamic analysis of moisture absorption phenomena in high-permittivity oxides as gate dielectrics of advanced complementary-metal-oxide-semiconductor devices 先进互补金属氧化物半导体器件栅介质高介电常数氧化物吸湿现象的热力学分析相关领域材料科学氧化物介电常数水分吸收（声学）电介质吉布斯自由能兴奋剂无机化学化学工程分析化学（期刊）化学复合材料热力学光电子学冶金环境化学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1063/1.3455110
DOI	10.1063/1.3455110 doi
其它	期刊：Applied physics letters 作者：Yi Zhao; Koji Kita; Akira Toriumi 出版日期：2010-06-14
求助人	机灵的寻云在 2024-07-17 11:29:46 发布自福建，悬赏 10 积分
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