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 Multi-Scale and Multi-Branch Transformer Network for Remaining Useful Life Prediction in Ion Mill Etching Process 离子磨刻蚀过程剩余使用寿命预测的多尺度多分支Transformer model网络
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期刊：IEEE transactions on semiconductor manufacturing 作者：Zhonghu Yuan; Rui Wang 出版日期：2024-02-01 |
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