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 Fabrication of blazed gratings by tilted reactive ion beam etching with the side mask for augmented reality applications 用于增强现实应用的侧掩模倾斜反应离子束刻蚀闪耀光栅
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Yunchenxin Wang; Aixi Pan; Xiaoli Zhu; Bo Cui 出版日期：2024-01-01 |
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