| 标题 |
 Study of Inner Spacer Module Process for Gate All Around Field Effect Transsistors 栅极全向场效应晶体管内间隔模块工艺研究
相关领域
材料科学
过程（计算）
领域（数学）
工程物理
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计算机科学
工程类
程序设计语言
数学
纯数学
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| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Chaoran Yang; Junjie Li; Enxu Liu; Haiyang Mao; Longrui Xia; et al 出版日期：2024-08-01 |
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