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 Preparation of hard and ultra water-repellent silicon oxide films by microwave plasma-enhanced CVD at low substrate temperatures 低温微波等离子体增强CVD制备硬质超疏水氧化硅薄膜
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期刊：Thin solid films 作者：Yunying Wu; Hiroyuki Sugimura; Yasushi Inoue; Osamu Takai 出版日期：2003-07-01 |
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