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Kinetic Monte Carlo study on the effect of growth conditions on the epitaxial growth of 3C–SiC (0001) vicinal surface
生长条件对3C-SiC(0001)邻面外延生长影响的Monte Carlo动力学研究
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期刊:Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者:Xuejiang Chen; Xinyao Zhang; Wensen Ai 出版日期:2024-01-30 |
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