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 Submicrometer photonic structure fabrication by phase spatial-light-modulator-based interference lithography 基于相空间光调制器的干涉曝光法制作亚微米光学结构
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期刊：Optics Letters 作者：Saraswati Behera; Manish Kumar; Joby Joseph 出版日期：2016-04-14 |
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