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Use of LaB6 Segments in Magnetron Sputtering of a MoSi2–MoB–ZrB2 Heterophase Target
LaB6片段在MoSi2-MoB-ZrB2多相靶磁控溅射中的应用
相关领域
物理 溅射沉积 腔磁控管 凝聚态物理 溅射 薄膜 量子力学
网址
https://doi.org/10.1134/s1063778824090096
DOI
10.1134/s1063778824090096 doi
其它 期刊：Physics of Atomic Nuclei
作者：Ф. И. Чударин; A. D. Chertova; Е. А. Левашов; Ph. V. Kiryukhantsev‐Korneev
出版日期：2024-12-01
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sen 在 2025-04-02 14:38:22 发布，悬赏 10 积分
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