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 Functionalizing self-assembled monolayers to reduce interface scattering in ruthenium/dielectric for next-generation microelectronic interconnects 用于下一代微电子互连的自组装单层功能化以减少钌/电介质中的界面散射
相关领域
X射线光电子能谱
材料科学
单层
自组装单层膜
散射
分析化学（期刊）
化学工程
纳米技术
化学
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光学
物理
工程类
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| 其它 |
期刊：Applied Surface Science 作者：Bin-Fu Hsu; Jia-You Sun; Yu-Lin Chen; Ming‐Yen Lu; Shou-Yi Chang; et al 出版日期：2023-11-14 |
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