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标题
A Machine Learning Study to Obtain an Optimal Processing Pulsed Frequency on Reactive Pulsed DC Sputtering of Aluminum Nitride Films
反应脉冲直流溅射氮化铝薄膜最佳加工脉冲频率的机器学习研究
相关领域
材料科学 梯度升压 溅射 结晶度 Boosting（机器学习） 表面粗糙度 光电子学 随机森林 薄膜 人工智能 计算机科学 纳米技术 复合材料
网址
https://doi.org/10.1109/cstic61820.2024.10532082
DOI
10.1109/cstic61820.2024.10532082 doi
其它 期刊：
作者：Xue-Li Tseng; Yu-Shin Chen; Hsuan-Fan Chen; Hsiao-Han Lo; Peter J. Wang; et al
出版日期：2024-03-17
求助人
研友_Z7XGz8 在 2025-04-07 15:43:34 发布自新加坡，悬赏 10 积分
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