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 Role of the oxidation conditions on the orientation of TiNxOy grown by atomic layer deposition: Impact on the optical and electrical properties 氧化条件对原子层沉积生长TiNxOy取向的作用：对光学和电学性能的影响
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Kou Ihara; Julien Cardin; Maxime Leménager; X. Portier; Hind Bousbia; et al 出版日期：2024-08-21 |
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