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Simultaneous measurement of pole figure and residual stress for polycrystalline thin films: ω–φ′ compensated grazing-incidence diffraction in side-inclination mode
多晶薄膜极图和残余应力的同时测量:ω-φ′侧倾模式下的补偿掠入射衍射
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期刊:Journal of applied crystallography 作者:Tony Wang 出版日期:2021-09-29 |
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