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 X-Ray metrology of nanowire/ nanosheet FETs for advanced technology nodes 先进技术节点的纳米线/纳米片场效应晶体管的X射线计量
相关领域
纳米线
蚀刻（微加工）
材料科学
临界尺寸
薄脆饼
光电子学
场效应晶体管
计量学
散射
堆积
晶体管
纳米技术
光学
电压
物理
图层（电子）
量子力学
核磁共振
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期刊： 作者：Madhulika Korde; Joseph Kline; Daniel F. Sunday; Nick Keller; Subhadeep Kal; et al 出版日期：2020-03-20 |
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