X-Ray metrology of nanowire/ nanosheet FETs for advanced technology nodes

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标题	X-Ray metrology of nanowire/ nanosheet FETs for advanced technology nodes 先进技术节点的纳米线/纳米片场效应晶体管的X射线计量相关领域纳米线蚀刻（微加工）材料科学临界尺寸薄脆饼光电子学场效应晶体管计量学散射堆积晶体管纳米技术光学电压物理图层（电子）量子力学核磁共振
网址	https://doi.org/10.1117/12.2553371
DOI	10.1117/12.2553371 doi
其它	期刊：作者：Madhulika Korde; Joseph Kline; Daniel F. Sunday; Nick Keller; Subhadeep Kal; et al 出版日期：2020-03-20
求助人	BroRooney_ 在 2024-09-13 15:14:21 发布自广东，悬赏 20 积分
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