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标题
The Discussion of the Typical BEOL Design Rules from 3 nm to 2 nm Logic Process with EUV and High NA EUV Lithography
EUV和高NA EUV光刻3~2 nm逻辑工艺BEOL典型设计规则的探讨
相关领域
生产线后端 PMOS逻辑 材料科学 NMOS逻辑 极紫外光刻 进程窗口 平版印刷术 光电子学 多重图案 晶体管 节点（物理） 化学机械平面化 光刻 逻辑门 图层（电子） 纳米技术 电子工程 抵抗 电气工程 工程类 电压 结构工程
网址
https://doi.org/10.1109/iwaps54037.2021.9671251
DOI
10.1109/iwaps54037.2021.9671251 doi
其它 期刊：
作者：Qiang Wu; Yanli Liu; Xiaona Zhu; Shaofeng Yu
出版日期：2021-12-12
求助人
kuxingzhe1993 在 2024-05-12 10:43:03 发布自山东，悬赏 10 积分
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