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 MEMS Vibratory Gyroscopes: Structural Approaches to Improve Robustness MEMS振动陀螺：提高鲁棒性的结构方法
相关领域
陀螺仪
微电子机械系统
稳健性（进化）
建筑
振动结构陀螺仪
制作
工程类
计算机科学
电子工程
材料科学
航空航天工程
纳米技术
化学
医学
基因
生物化学
艺术
病理
视觉艺术
替代医学
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| DOI |
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| 其它 |
期刊： 作者：Andrei M. Shkel; Cenk Acar 出版日期：2008-10-23 |
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