标题 |
Controllable Synthesis of Transferable Ultrathin Bi2Ge(Si)O5 Dielectric Alloys with Composition-Tunable High-κ Properties
可控合成成分可调的Bi2Ge(Si)O5超薄介质合金
相关领域
电介质
半导体
高-κ电介质
化学气相沉积
化学
栅极电介质
光电子学
范德瓦尔斯力
晶体管
合金
纳米技术
材料科学
分子
有机化学
电气工程
电压
工程类
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其它 |
期刊:Journal of the American Chemical Society 作者:Jiabiao Chen; Zhaochao Liu; Zunxian Lv; Yameng Hou; Xiang Chen; et al 出版日期:2024-04-14 |
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