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 Performance Improvement of Integrated MEMS Temperature, Humidity, and Air Velocity Sensors for Application in Smart Buildings 用于智能建筑的集成MEMS温度、湿度和风速传感器的性能改进
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Izhar Izhar; Xu Zhao; Hadi Tavakkoli; Wei Xu; Yi-Kuen Lee 出版日期：2024-01-24 |
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