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 Study on Electrochemical Corrosion and CMP of GaN in Different Oxidation Systems GaN在不同氧化体系中的电化学腐蚀及CMP研究
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Wei Wei; Baoguo Zhang; Li Zhang; Xuan Yu 出版日期：2022-03-01 |
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