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 Fabrication of single crystal diamond microchannels for micro-electromechanical systems 微机电系统用单晶金刚石微通道的制备
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Jiao Fu; Tianfei Zhu; M.H. Zhang; X. Zhang; Fengnan Li; et al 出版日期：2017-09-28 |
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