标题 |
MEMS Microgripper Actuators and Sensors: The State-of-the-Art Survey
MEMS微夹持器致动器和传感器:最新调查
相关领域
微电子机械系统
执行机构
压阻效应
电容感应
机械工程
夹持器
位置传感器
计算机科学
引信
电气工程
材料科学
工程类
纳米技术
转子(电动)
冶金
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其它 |
期刊:Recent Patents on Mechanical Engineering 作者:Yukun Jia; Qingsong Xu 出版日期:2013-04-01 |
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