Piezoelectric MEMS generators fabricated with an aerosol deposition PZT thin film

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标题	Piezoelectric MEMS generators fabricated with an aerosol deposition PZT thin film 用气溶胶沉积PZT薄膜制造的压电MEMS发生器相关领域压电微电子机械系统材料科学电压悬臂梁沉积（地质）能量收集电气工程加速度光电子学 PMUT公司最大功率原理机械能薄膜振动功率（物理）声学复合材料工程类物理纳米技术经典力学量子力学古生物学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/19/6/065014
DOI	10.1088/0960-1317/19/6/065014 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Bor‐Shiunn Lee; Shih‐Hung Lin; Wen-Jong Wu; X Y Wang; P.-Z. Chang; et al 出版日期：2009-05-20
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