Asymmetric Proton-Exchange-Enhanced Lithium Niobate and Silicon Low-Temperature Direct Bonding with an Ultrathin Heterogeneous Interface

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标题	Asymmetric Proton-Exchange-Enhanced Lithium Niobate and Silicon Low-Temperature Direct Bonding with an Ultrathin Heterogeneous Interface 超薄非均相界面非对称质子交换增强铌酸锂与硅低温直接键合相关领域材料科学铌酸锂硅锂（药物）直接结合接口（物质）质子光电子学化学工程纳米技术复合材料医学物理毛细管数量子力学毛细管作用工程类内分泌学
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.4c14350 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1021/acsami.4c14350 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Yu Du; Yuanshu Zou; Bingxuan Zhu; Heng Jiang; Yao Chai; et al 出版日期：2024-11-08
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