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 Structure and refractive index of thin alumina films grown by atomic layer deposition 原子层沉积法生长氧化铝薄膜的结构和折射率
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期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：M. Tulio Aguilar-Gama; E. Ramírez-Morales; Z. Montiel‐González; A. Mendoza‐Galván; M. Sotelo-Lerma; et al 出版日期：2014-06-26 |
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