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 A generic design optimization framework for semiconductor cleanroom air-conditioning systems integrating heat recovery and free cooling for enhanced energy performance 集成热回收和自由冷却以提高能源性能的半导体洁净室空调系统的通用设计优化框架
相关领域
洁净室
空调
能源消耗
冷冻水
高效能源利用
主动冷却
设定值
被动冷却
工程类
偏移量（计算机科学）
工艺工程
环境科学
水冷
汽车工程
机械工程
计算机科学
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电气工程
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期刊：Energy 作者：Wenxuan Zhao; Hangxin Li; Shengwei Wang 出版日期：2023-11-07 |
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