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CBVD grown HfO2 on TiN for high-precision MIM capacitor
用于高精度MIM电容器的TiN上CBVD生长HfO2
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期刊:Physica B Condensed Matter 作者:R. Rani; William Maudez; Rajat Sayal; Radheshyam Rai; Sanjeev Kumar; et al 出版日期:2022-12-01 |
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