Kinetic and Microstructure of SiC Deposited from SiCl4-CH4-H2

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标题	Kinetic and Microstructure of SiC Deposited from SiCl4-CH4-H2 SiCl4-CH4-H2沉积SiC的动力学和微观结构相关领域化学气相沉积扫描电子显微镜材料科学微观结构等温过程薄膜化学工程沉积（地质）分析化学（期刊）基质（水族馆）相（物质）透射电子显微镜复合材料化学纳米技术有机化学古生物学物理沉积物生物工程类热力学海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.1016/s1004-9541(08)60226-8
DOI	10.1016/s1004-9541(08)60226-8 doi
其它	期刊：Chinese Journal of Chemical Engineering 作者：Yan Yang; Weigang Zhang 出版日期：2009-06-01
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