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![]() 表面形貌测量仪器刻度的校准:第1部分。测量噪声和剩余平坦度
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期刊:Measurement Science and Technology 作者:Claudiu Giusca; Richard Leach; Franck Helary; Tadas Gutauskas; Lakshmi Nimishakavi 出版日期:2012-02-13 |
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