Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications - 科研通

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标题	Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications 用于MEMS应用的玻璃衬底上AlN/Ag/AlN薄反射器堆叠的表征相关领域微电子机械系统材料科学表征（材料科学）反射器（摄影）光电子学薄膜纳米技术光学光源物理
网址	https://doi.org/10.3390/micro4010010
DOI	10.3390/micro4010010 doi
其它	期刊：Micro 作者：Christian Behl; Regine Behlert; Jan Seiler; Christian Helke; Alexey Shaporin; et al 出版日期：2024-02-29
求助人	LGH 在 2025-03-05 10:00:24 发布自安徽，悬赏 10 积分
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