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标题
Effect of modulation ratio on microstructure and tribological properties of TiAlN/TiAlCN multilayer coatings prepared by multi-excitation source plasma
调制比对多激发源等离子体制备TiAlN/TiAlCN多层涂层组织和摩擦学性能的影响
相关领域
材料科学 微观结构 无定形固体 纳米压痕 纳米晶材料 溅射沉积 拉曼光谱 扫描电子显微镜 复合材料 涂层 X射线光电子能谱 摩擦学 无定形碳 分析化学(期刊) 溅射 薄膜 结晶学 化学工程 纳米技术 光学 化学 工程类 色谱法 物理
网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.111917 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Bing Zhou; Yiming Wang; Zhubo Liu; Jiaqi Zhi; Hui Sun; et al
出版日期:2023-05-01
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