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标题
Defect-Engineered MnO2 as Catalyst for the Chemical Mechanical Polishing of Silicon Carbide Wafer
缺陷工程MnO2催化剂在碳化硅晶片化学机械抛光中的应用
相关领域
催化作用 材料科学 薄脆饼 氧化剂 化学工程 抛光 多孔性 碳化硅 氧气 吸附 化学机械平面化 比表面积 纳米技术 冶金 复合材料 化学 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/ace73d
DOI
10.1149/2162-8777/ace73d doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Wanying Guo; Xue Kong; Mingxuan Wang; Sipei Zhang; Yi Qiao; et al
出版日期：2023-07-01
求助人
木子剑光军 在 2025-04-30 16:52:53 发布自上海，悬赏 10 积分
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