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 Single‐Component High‐Resolution Dual‐Tone EUV Photoresists Based on Precision Self‐Immolative Polymers 基于精密自焚聚合物的单组分高分辨率双色调EUV光刻胶
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期刊：Angewandte Chemie International Edition 作者：Jie Cen; Wen Liu; Jie Xu; Xiuxia Wang; Jialin Zhang; et al 出版日期：2024-09-21 |
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