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标题
Influence of synchronized pulse bias on the Microstructure and Properties of CrSiN nano-composite ceramic films deposited by MIS-HiPIMS
同步脉冲偏压对MIS-HiPIMS沉积CrSiN纳米复合陶瓷膜组织和性能的影响
相关领域
材料科学 微观结构 高功率脉冲磁控溅射 陶瓷 复合数 纳米- 复合材料 脉搏（音乐） 纳米技术 薄膜 溅射沉积 溅射 光学 物理 探测器
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.05.465
DOI
10.1016/j.ceramint.2024.05.465 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Binhua Gui; Haoquan Hu; Hui Zhou; Tengfei Zhang; Xingguang Liu; et al
出版日期：2024-05-01
求助人
调研昵称 在 2025-03-11 10:54:46 发布自北京，悬赏 10 积分
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