The effects of NH3 plasma passivation on polysilicon thin-film transistors

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标题	The effects of NH3 plasma passivation on polysilicon thin-film transistors NH3等离子体钝化对多晶硅薄膜晶体管的影响相关领域钝化悬空债券薄膜晶体管晶界多晶硅材料科学硅分析化学（期刊）光电子学纳米技术化学图层（电子）微观结构冶金有机化学
网址	https://doi.org/10.1109/55.468281
DOI	10.1109/55.468281 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Fang-Hsing Wang; M.J. Tsai; Huang–Chung Cheng 出版日期：1995-11-01
求助人	长江在 2024-02-01 09:39:25 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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