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Error analysis and realization of a phase-modulated diffraction grating used as a displacement sensor
相位调制衍射光栅位移传感器的误差分析与实现
相关领域
光学
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材料科学
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衍射光栅
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期刊:Optics Express 作者:Qingxiong Xiao; Shuang Wu; Yinan Wang; Chengxiu Liu; Feng Wen-lu; et al 出版日期:2023-02-17 |
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