PECVD工艺参数及退火对氮化硅薄膜性能的影响

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标题	PECVD工艺参数及退火对氮化硅薄膜性能的影响
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者柳聪
求助人	优美荷花在 2023-11-27 10:39:01 发布自北京，悬赏 10 积分
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