In situ monitoring and universal modelling of sacrificial PSG etching using hydrofluoric acid

已完结

文献求助详情

标题	In situ monitoring and universal modelling of sacrificial PSG etching using hydrofluoric acid 氢氟酸牺牲PSG刻蚀的现场监测与通用模型相关领域氢氟酸蚀刻（微加工）微通道材料科学原位纳米技术反应离子刻蚀各向同性腐蚀分析化学（期刊）光电子学化学冶金色谱法有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/memsys.1993.296954
DOI	10.1109/memsys.1993.296954 doi
其它	期刊：作者：Julie C. Liu; Yu‐Chong Tai; J. Lee; K.-C. Pong; Yitshak Zohar; et al 出版日期：2002-12-30
求助人	nico 在 2024-04-23 19:05:40 发布自湖南，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 空曲完成签到，获得积分10

24秒前; 希勤发布了新的文献求助10

30秒前; jyy上传了应助文件

31秒前; 科目三的应助被希勤采纳，获得10

43秒前; 科目三上传了应助文件

1分钟前; 希勤发布了新的文献求助10

1分钟前; 田田完成签到，获得积分10

1分钟前; jyy上传了应助文件

2分钟前; 别疯发布了新的文献求助10

4分钟前; 在水一方完成签到，获得积分0

4分钟前; 自由的梦露完成签到，获得积分10

4分钟前; Richard完成签到，获得积分10

6分钟前; 薏仁完成签到，获得积分10

6分钟前; Yportne驳回了小二郎的应助

7分钟前; baixun完成签到，获得积分20

8分钟前; 别疯完成签到，获得积分10

8分钟前; YifanWang的应助被科研通管家采纳，获得10

9分钟前; YifanWang的应助被科研通管家采纳，获得10

9分钟前; jyy上传了应助文件

9分钟前; WSYang完成签到，获得积分10

10分钟前; 紫熊发布了新的文献求助10

10分钟前; 紫熊关闭了紫熊的文献求助

10分钟前; YifanWang的应助被科研通管家采纳，获得10

11分钟前; YifanWang的应助被科研通管家采纳，获得10

11分钟前; 紫熊发布了新的文献求助20

11分钟前; 紫熊关闭了紫熊的文献求助

11分钟前; 研友_nxw2xL完成签到，获得积分10

12分钟前; muriel完成签到，获得积分10

13分钟前; 科研通AI2.0上传了应助文件

13分钟前; Tttttttt完成签到，获得积分10

14分钟前; renxuda完成签到，获得积分10

14分钟前; renxuda发布了新的文献求助10

14分钟前; 万能图书馆的应助被科研通管家采纳，获得10

15分钟前; Jade张的应助被科研通管家采纳，获得20

15分钟前; Artin发布了新的文献求助50

15分钟前; bkagyin的应助被baixun采纳，获得30

16分钟前; Artin发布了新的文献求助50

16分钟前; Artin完成签到，获得积分10

17分钟前; bkagyin上传了应助文件

17分钟前; baixun发布了新的文献求助30

17分钟前