标题 |
Modifying single-crystal silicon and trimming silicon microring devices by femtosecond laser irradiation
飞秒激光辐照改性单晶硅和微调硅微环器件
相关领域
飞秒
材料科学
硅
光学
激光器
光电子学
辐照
修边
计算机科学
操作系统
物理
核物理学
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期刊:Optics express 作者:Jia Du; Lei Zhou; Wei Xu; Yuanan Zhao; Maohui Chen; et al 出版日期:2024-04-03 |
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